“刻蚀完成,表面结构清晰,电路完整。”系统再次给出了正面反馈。
接下来是掩膜的去除和金属化工艺。许志远将硅片放入化学槽中去除光刻胶,然后通过金属沉积技术为电路铺设导电层。经过一系列复杂的工艺之后,第一片芯片终于完成。
许志远小心翼翼地将芯片装载到测试平台上,连接好电源和测试设备。
他设计的这片芯片是一个简单的逻辑电路,用于验证光刻机的精度和工艺的完整性。如果这片芯片能够正常运行,就意味着他的光刻机完全达标。
“系统,启动测试程序。”许志远屏住呼吸,目不转睛地盯着屏幕。
测试仪器开始工作,芯片的电路被逐一检测,测试数据实时显示在屏幕上。
“输入信号正常……输出信号正常……逻辑运算正确……功耗符合预期……”系统的提示音一项接一项地响起。
终于,屏幕上出现了一行大字:
“芯片功能测试通过!”
许志远整个人僵住了,随即长长地吐出一口气,脸上露出了掩饰不住的笑容。他握紧拳头,忍不住低声喊了一句:“成了!真的成了!”
他激动地站起来,绕着光刻机转了一圈,双手撑在机器上,脸上写满了激动和满足。