光刻技术更先进，但他深知，以现在的资源和条件，193纳米已经是最现实的选择。
“深紫外光源的核心在于光束整形和能量稳定。”许志远走到激光器旁，打开盖板，露出内部复杂的光学结构。他迅速调出系统提供的设计方案，开始逐一比对。
他首先需要组装一套高效的光束整形系统，将激光器发出的光束调整成均匀的矩形光斑。在普通人眼中，这是一个极其复杂的过程，但对许志远来说，有系统的加持，一切都变得清晰明了。
“镜片组……反射镜……波片……”他一边自言自语，一边从材料堆里挑选出需要的光学组件。每一块镜片都必须达到亚纳米级的精度，稍有误差，整个光束整形系统就会失效。
许志远将镜片固定在光束整形模块的框架上，小心翼翼地调整角度和位置。这个过程需要极高的耐心和细致，每一个调整都要经过反复计算。
“系统，测试光束输出。”他一声令下，工作台上的智能屏幕立刻亮起，显示出光束的分布图。