真做出来了！
当然，性能肯定不可能像陈艺文说的那么假，既不是第一代，性能也没那么强劲。
别说对标阿斯麦还在设计中的下一代光刻机了，甚至比现在主流的光刻机性能还要差上那么一点。但最小na数值孔径也做到了1.36。
根据反馈来看，只需要稍作调整，就能完成极限制程3n的制作工艺。
虽然比阿斯麦最新款的两纳米极限工艺还要差了一点，但基本上可以说跟上了主流，跟国际顶尖水平的差距也已经缩小到可以容忍的地步。
而且真要对比的话，光刻工厂的生产效率可要远高于单台光刻机，搭配智能化的操作系统，最多能同时批量光刻十三种规格不同的芯片。理论上可以达到每小时2737片的生产效率。
当然光刻工厂占地也远比光刻机要庞大。
总之就是各有千秋。
当然，现在依然处于试机过程中。
暂时还不会正式交付开始进行生产。
而且光刻工厂建设周期较长，但对于现在的华夏来说，这些缺点都可以被无视。
因为光刻工厂的所有零配件实现了全国产，完全不怕被卡脖子。
可想而知此时的张志坚有多兴奋，真的，此时在乔泽面前的张志坚看上去像是个兴奋过度的小孩子。