除此之外，与晶圆厂和芯片制造其它一系列配套产业也要协同发展，并且要能够跟得上光刻机的发展脚步。
因为芯片生产不止是一台光刻机的问题，还涉及到了很多流程和工艺，而在这方面，我们国内也是有欠缺的。
吴浩他们在启动这个光刻机研制项目后，就开始了对于其它配套产业技术的扶持，并先后注资了好几家关键的配套设备企业。
这些企业在吴浩他们的扶持下，也相继有了成果。只不过相比于光刻机这边的巨大成功，他们的进步还有些不足。不过，就自身乃至国内相关行业来说，这种进步肯定是巨大的。
目前这些企业包括其它的一些行业内的企业在国产光刻机研制成功事情的激励下，正在加紧努力，争取能够早日创造出好的成绩。